光刻膠是一種有機化合物，被紫外光曝光后在顯影溶液中的溶解度會發生變化。硅片制造中所用的光刻膠以液態涂在硅片表面，而后被干燥成膠膜。儲存時間短保質期短暫，有效期僅90天，粘附性，抗蝕性，耐熱穩定性、抗刻蝕能力，具有比較小的表面張力，使光刻膠具有良好的流動性和覆蓋。
光刻膠是什么材料
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